一、组合型(罗次+爪)

组合型(罗次+爪)螺杆真空泵，归划用罗茨来发展在较低水压下的抽真空热效率，用爪来发展在较高水压下的抽真空热效率

它的基本概念和汽体环路同圆裂片式归划一样。也有一些将螺杆真空泵一级改成星型归划，那样可以在转动整圈上将汽体分成五份，如同三圆裂片式归划可以将其分成三份

二、內部紧缩型螺杆式

丝杆间容量的持续减少，促使螺杆真空泵內部造成缩紧。在许多工序中，这类內部缩紧同多级离心泵一样，简易导致汽体在螺杆真空泵内的物理学转变而造成干固或汽化

三、双圆裂片式

双圆裂片式的多级归划，促使汽体环路相等于混乱，并且每一级都要求很大留量的氢气具有兑水和隔绝作用。以便抵达好的真空度，对各个的间隙有非常严格的规定。这类归划由于提升了內部的缩紧比而促使螺杆真空泵用电量较低

四、三圆裂片式

三圆裂片式归划和所述方法归划的机理同样，仅在转动整圈上将汽体分成三份，而没有像双圆裂片式分成两份。以便深化降低用电量，在齿轮箱部位有些会采用两个直流马达，但这也会造成扭距减少，重启的潜质降低

五、外界紧缩型螺杆式

在外界紧缩型螺杆式的归划中，应用两只等距丝杆。这促使螺杆真空泵內部缩紧减少，促使汽体环路简易。那样，汽体在螺杆真空泵身体滞留的時间也短。这类归划在混乱的光电器件工序中表现出的可靠性非常强

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来源：全球泵阀网